创新科技重塑物料传输主要环节

——“自动化”迈向“智能化”的晶圆传输系统

      半导体制造领域的智能化浪潮正延伸至基础环节，我公司代理手动/自动批量晶圆水平传送系统（AWT/MWT），该系列设备在传统机械架构上实现了多重创新升级。创新焦点集中于智能化与可靠性。自动型设备（AWT）已超越基础搬运功能，集成多传感器融合系统。通过力觉反馈与自适应控制技术，设备能动态调整夹持力度，实现对不同状态晶圆的“温柔抓取”，同时振动监测模块支持预测性维护，大幅降低意外停机风险。

       而手动型号（MWT）的人机交互体验明显提升。采用力学优化设计的自复位传送臂，配合智能光引导系统，使操作更为省力、直观且防错。设备同时支持模块化末端执行器快速更换，增强了产线应对多规格leyu·乐鱼(中国)体育官方网站的灵活性。

       更值得关注的是该设备的数据整合能力。每次传输动作的关键参数均被记录并与晶圆ID绑定，为制造过程提供了完整的可追溯链条。这标志着晶圆传送设备正从单独工具转变为互联的智能节点，为半导体制造的数字化管理奠定了坚实基础。

        这些创新虽未改变水平传送的基本原理，但通过深度集成感知、控制与数据技术，明显提升了这一主要物料处理环节的可靠性、柔性与智能化水平，有力支撑了先进半导体制造对过程精度与稳定性的严苛要求。手动/自动批量晶圆转移设备在海外半导体及相关高科技行业应用较广且成熟，是其自动化生态中不可或缺的基础环节。AWT系统作为自动化产线的运输通道，追求高度的可靠性与数据互联；而MWT设备则作为“通用工具”，在成本敏感和灵活性要求高的场景中普及。其成功应用的关键在于极高的可靠性（极低的破片率）、与行业标准的兼容性，以及易于集成到现有生产管理体系的能力。