电化学开尔文探针测量 CPD（接触电位差）值并评估与电解质接触的电化学样品的功函数。 功函数的测量在半导体物理学中特别有用，因为它们在被检查的材料中提供了费米能级的位置。 当电化学开尔文探针与光源耦合时，当干或湿界面被照亮时，可测量
样品的表面光电

压 （SPV）。 电化学 Kelvin 探针配有专门的电化学比色皿。在那里，样品漂浮在电解质上。开尔文探针顶端接近样品的暴露顶部。这样，样品顶部没有会影响测得的 CPD 的电解质层。尽管如此，样品的底部仍与电解质接触。 光线可以照亮样
品的顶面或底部

样品-电解质界面。 样品-电解质界面上可能发生的化学反应会影响 CPD 的测量值。

Kelvin 探针模块

电化学开尔文探针套件包括：

• 控制器单元，

• 带探针顶端的 Kelvin Probe 仪器，

• 电化学比色皿 /

• 法拉第笼

电化学 Kelvin 探针仪器配备：

• 实验后用于停放探针顶端的保护槽，

• 激光指示器直接指示区域，

• 当仪器被法拉第笼覆盖时帮助处理样品的光源，

• 激光屏障，用于精确检测探针顶端与样品的距离，

• Golden 探针顶端，

• 电化学比色皿样品架，

• 电化学比色皿，样品放在上面。

电化学比色皿，电化学开尔文探针的关键元件是电化学比色皿套件，其中样品直接放置在比色皿的顶部。

规格

• 重量： 15 kg，

• 尺寸：40x40x45 厘米，

• PC 连接：USB 2.0、

• 电源：230 V，50 Hz 或      115 V，60 Hz，

• 测量技术：2 通道锁相放大器，

• 激光屏障可自动检测基材并防止针尖进入样品，

• 辅助传感器：湿度、温度、

• 小灯 ，

• 用于表面指示的检查点的激光指示器，

• 样品架：

     – 自由形状的固态，带顶部触点支架，

     – 底部触点支架，

     – 电化学支架，

• 法拉第笼：标准/气密，带惰性气体流动系统，

• 测量单位：

偏置电压范围：-5 ÷ 5 V，

电压测量分辨率：0.15 mV，

电流范围：300 nA、30 nA、3      nA、300 pA、

• 探头顶端：

探针顶端类型：Au 网孔，直径 2.5 mm，

垂直轴上的针尖定位分辨率：20 μm，

自动共振频率扫描 /

可调振荡幅度 /

自动去除顶端的寄生电流，

光源的部分透明度，

典型 CPD 测量距离：0.2 – 1 mm，

• XY 工作台：

电动，通过软件控制，

尺寸：50 x 50 mm，

移动范围：50 x 50 mm，

• 电化学比色皿

• 比色皿类型：标准/底部光学元件、

• 电极类型：Ag/AgCl 或其他，

• 电解液容器材质：PTFE，

• 样品基材：带孔或其他的 Kapton 绝缘箔，

• 底部光学比色皿

• 光纤：液体波导，

• 镜面：紫外线增强或定制，

• 光学窗口：熔融石英。

优势

电化学开尔文探针以电化学环境CPD测量、0.15 mV高分辨率、双照明模式、精密探针控制为优势，为半导体物理学、光电化学、腐蚀科学、传感器研究等领域提供强大的功函数和表面光电压研究平台。通过独特

的电化学比色皿设计，EKP使研究样品-电解质界面的电荷转移和化学反应成为可能。