程序温度脱附控制系统 （TPD）

用于测量超薄薄膜吸附/脱吸的独立系统，能够在较宽温范围内进行高精度温度控制。

本底真空1×10-9 mbar 的 TPD/TDS 腔室（可用于其他组件的备用端口）

配备四极杆TDS 40A1热脱附质谱仪（质量范围更大到200 AMU），Z轴移动以实现更佳探测器定位

特别设计的圆锥形采样端件

1 轴超高真空操纵器，在宽温范围内具有高精度温度控制（-170°C 至 1200 °C）

TDS专用 计算机控制的数据采集和处理软件

样品传输腔配置两个 PTS 样品夹具

从样品传输腔到 TPD 室配置可靠和快速的线性传输系统

19" 支撑柜，安装所有的电子部件

具有大轮子的可调节刚性大型机，便于系统放置

升级选项

操纵器的其他运动轴，并完全机动化

通过精确控制压力，将压力范围从超高真空扩展到 1 atm 的可能性

气体注入系统（手动或精确与 PLC 控制）

溶剂注入系统

致力于在腐蚀性环境中工作的样品夹具

样品传输腔室具有加热和 液氮LN2冷却选项

用于样品准备的专用室

不同质量范围的残余气体分析质谱仪