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自动AI宏观晶圆检测
将检查摄像头整合到SPPE和SPPE-SORT设备中,以自动检查晶片的任何方面。
Cognex InSight ViDi AI/深度学习检测
完全通用的晶圆检测
低成本、占地面积小的宏观检测解决方案——设计用于轻松插入晶圆厂工艺步骤,以允许使用前列技术进行在线晶圆检测
按插槽编号显示通过/失败结果
设计用于检测大于0.5mm的宏观缺陷(划痕、不需要的工艺标记、不想要的宏观特征、CMP误差)
Model | Wafer Size | Description |
SPPE* SPPE*SORT | 150/ 200 mm | Wafer Inspection Cameras for SPPE* &SPPE*SORT series |
自动AI宏观晶圆检测
将检查摄像头整合到SPPE和SPPE-SORT设备中,以自动检查晶片的任何方面。
Cognex InSight ViDi AI/深度学习检测
完全通用的晶圆检测
低成本、占地面积小的宏观检测解决方案——设计用于轻松插入晶圆厂工艺步骤,以允许使用前列技术进行在线晶圆检测
按插槽编号显示通过/失败结果
设计用于检测大于0.5mm的宏观缺陷(划痕、不需要的工艺标记、不想要的宏观特征、CMP误差)
Model | Wafer Size | Description |
SPPE* SPPE*SORT | 150/ 200 mm | Wafer Inspection Cameras for SPPE* &SPPE*SORT series |
