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手动/自动平面或凹口对准器
晶圆对准leyu·乐鱼(中国)体育官方网站是一种概念简洁、价格实惠的批量对准工具,专为凹口或平面晶圆而设计。
真正的ESD保护
所有晶圆和载体接触点的特定材料
所有与晶圆及载具接触的部分(如卡爪、载台)均采用经过验证的、低释气、低磨损的适用材料,较大限度防止污染、划伤和静电产生。
可以选择对齐角度
用户可根据工艺要求,自由设定并存储多个标准或自定义的对准角度(如0°、90°、180°等)。
360度旋转模式,用于目视检查(ANA型号)
全自动凹口对准器可配备连续旋转功能,便于操作员或集成相机对晶圆进行完整的目视或机器检查。
可用于ESD敏感/后端应用的全导电设备
可提供全导电型号,专门用于对静电极度敏感的后端(Back-end)封装、测试以及MEMS、射频器件等制造环节,确保从硬件层面消除ESD风险。
通过 “概念简洁” 的设计哲学,剥离非必要功能,在定向精度、ESD防护与材料安全这三个半导体制造关键的维度上做到精细。
它形成了从全自动到手动、从前端到后端、从单一尺寸到混合尺寸的完整leyu·乐鱼(中国)体育官方网站覆盖,
为客户提供了在不同自动化程度、预算和工艺要求下的优性价比选择,是半导体生产线中可靠且高效的“方向校准员”。
Model | Wafer Size | Description |
ANA200 | 200 mm | Auto Notch Aligner |
MNA200 | 200 mm | Manual Notch Aligner |
AFA150 | 150 mm | Auto Flat Aligner |
MFA150 | 75mm; 100mm; 150 mm | Manual Flat Aligner |
MNA150 | 150 mm | Manual Notch Aligner |
AFA100/150 | 100mm/150mm | Auto Flat Aligner Mixed |
手动/自动平面或凹口对准器
晶圆对准leyu·乐鱼(中国)体育官方网站是一种概念简洁、价格实惠的批量对准工具,专为凹口或平面晶圆而设计。
真正的ESD保护
所有晶圆和载体接触点的特定材料
所有与晶圆及载具接触的部分(如卡爪、载台)均采用经过验证的、低释气、低磨损的适用材料,较大限度防止污染、划伤和静电产生。
可以选择对齐角度
用户可根据工艺要求,自由设定并存储多个标准或自定义的对准角度(如0°、90°、180°等)。
360度旋转模式,用于目视检查(ANA型号)
全自动凹口对准器可配备连续旋转功能,便于操作员或集成相机对晶圆进行完整的目视或机器检查。
可用于ESD敏感/后端应用的全导电设备
可提供全导电型号,专门用于对静电极度敏感的后端(Back-end)封装、测试以及MEMS、射频器件等制造环节,确保从硬件层面消除ESD风险。
通过 “概念简洁” 的设计哲学,剥离非必要功能,在定向精度、ESD防护与材料安全这三个半导体制造关键的维度上做到精细。
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Model | Wafer Size | Description |
ANA200 | 200 mm | Auto Notch Aligner |
MNA200 | 200 mm | Manual Notch Aligner |
AFA150 | 150 mm | Auto Flat Aligner |
MFA150 | 75mm; 100mm; 150 mm | Manual Flat Aligner |
MNA150 | 150 mm | Manual Notch Aligner |
AFA100/150 | 100mm/150mm | Auto Flat Aligner Mixed |
