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Preceptor-SMIF批处理ID读取器
Preceptor-SMIF批处理ID读取器(IDWR200SMIF) 不只是一个“读码器”,它是一个集自动化物料处理、洁净环境控制与高精度身份识别于一体的交钥匙系统。
SMIF Batch ID Reader将Batch ID Reader、Kuka Robotics和SMIF Load Ports组合在一个迷你环境中。
SMIF Pod会自动打开并放入设备中。Kuka机器人将卡塞从Pod传输到Batch ID Reader。
使原本以“Pod”为较小追溯单元的SMIF系统,升级到 “单晶圆级” 的精细化管理,满足先进制程和混批生产的需求。
IDWR200SMIF允许SMIF晶圆厂引入晶圆跟踪和/或Pod到Pod传输。
系统可作为智能中转站。读取晶圆ID后,可根据指令将晶圆盒放入另一个目标Pod中,实现基于晶圆身份的有序重组和分发。
循环时间不到3分钟,它可以用超快的解决方案取代排序过程步骤。
凭借其高速处理能力,可将传统的离线分选步骤集成在在线流中,简化流程,减少晶圆搬运次数和潜在损伤。
GEM300与E84接口,用于外部自动化系统接口
使得该读取站可以无缝嵌入全厂自动化物料流中。
Model | Wafer Size | Description |
IDWR200SMIF | 200mm | SMIF Batch ID Reader |
Preceptor-SMIF批处理ID读取器
Preceptor-SMIF批处理ID读取器(IDWR200SMIF) 不只是一个“读码器”,它是一个集自动化物料处理、洁净环境控制与高精度身份识别于一体的交钥匙系统。
SMIF Batch ID Reader将Batch ID Reader、Kuka Robotics和SMIF Load Ports组合在一个迷你环境中。
SMIF Pod会自动打开并放入设备中。Kuka机器人将卡塞从Pod传输到Batch ID Reader。
使原本以“Pod”为较小追溯单元的SMIF系统,升级到 “单晶圆级” 的精细化管理,满足先进制程和混批生产的需求。
IDWR200SMIF允许SMIF晶圆厂引入晶圆跟踪和/或Pod到Pod传输。
系统可作为智能中转站。读取晶圆ID后,可根据指令将晶圆盒放入另一个目标Pod中,实现基于晶圆身份的有序重组和分发。
循环时间不到3分钟,它可以用超快的解决方案取代排序过程步骤。
凭借其高速处理能力,可将传统的离线分选步骤集成在在线流中,简化流程,减少晶圆搬运次数和潜在损伤。
GEM300与E84接口,用于外部自动化系统接口
使得该读取站可以无缝嵌入全厂自动化物料流中。
Model | Wafer Size | Description |
IDWR200SMIF | 200mm | SMIF Batch ID Reader |
