六角形分拣机/EFEM 150/200mm自动化平台

高通量开放式卡塞晶圆分选机

双晶圆搬运机器人

双对齐器

2-6个带映射的加载端口

晶圆翻转

高吞吐量200mm SMIF分拣机

双晶圆搬运机器人

双对齐器

2个带映射的SMIF加载端口

迷你环境

设备前端模块

1-6个加载端口（开放式卡塞或SMIF）

双对齐器

晶圆装载窗口

SECS/GEM和GEM300通信

为SMIF生产线提供不破坏洁净环境的在线分选能力，适用于混批管理、良品筛选、返工流重组等。

该系列平台通过并行化设计和顶配的模块化选项，为客户在分选效率与设备前端自动化两大关键领域提供了行业优异的解决方案，

是构建高效、灵活、智能的150/200mm半导体制造产线的主要装备。