俄歇电子能谱组件(AES、Auger)是一种利用高能电子束为激发源的表面分析技术. AES分析区域受激原子发射出具有元素特征的俄歇电子。俄歇电子在固体中运行也同样要经历频繁的非弹性散射，能逸出固体表面的

只是表面几层原子所产生的俄歇电子，这些电子的能量大体上处于 10～500电子伏，它们的平均自由程很短，大约为5～20埃,因此俄歇电子能谱所考察的只是固体的表面层。俄歇电子能谱通常用电子束作辐射源，电

子束可以聚焦、扫描，因此俄歇电子能谱可以作表面微区分析，并且可以从荧光屏上直接获得俄歇元素像。是考察固体表面的强有力工具，用于各种材料分析以及催化、吸附、腐蚀、磨损等方面的研究。

我司的microCMA 操作简单，易于维护，提供完整的定量表面敏感元素俄歇电子 （AES） 分析仪套件，可安装在 2.75" / 70 mm CF 法兰上，光学元件末端到采样距离为4 mm。由于microCMA非常小，因此同轴内置

电子枪被限制在3 kV。对于元素分析，microCMA比单独的XPS系统便宜得多。 完整的AES系统包括圆柱形镜面分析仪（带有集成的同轴电子枪），USB接口控制器以及Windows采集和数据按摩软件。让俄歇分析变

得简单！ 

microCMA是一款俄歇光谱圆柱镜分析仪，专为许多不需要AES映射功能的俄歇分析应用而设计，这些应用包括分析：

• 薄膜元素组合物

• 样品清洁度

• 金属成分热氧化物

• 轻元素表面膜的量化

特征：

紧凑的结构：适用于 2.75" / 70 mm CF 法兰（1.52" / 38.6 mm 内径管）。 现在可以只用一个T型离子泵构建一个俄歇光谱系统！

久经考验的设计：柱面镜分析器的二阶聚焦提供了良好的传递效果和优异分辨率。

易于使用：USB控制和俄歇数据信息分析软件界面易于使用，使俄歇分析变得容易。

强力功能：俄歇光谱（AES）是一种可为您提供样品表面数层的定量信息的强力表面灵敏技术。

优势：

microCMA的小直径使其适合现有的沉积或分析室。

由于microCMA基于经典的圆柱形镜面分析仪设计，因此与较大的CMA相比，它具有相似的信噪比。基本上，microCMA收集的电子与较大的CMA相同;它只是收集更接近样品的电子。

集成的 3 kV 电子枪简化了 CMA 到样品的对准。

电子枪具有自动功能，例如热身和调节。

microCMA非常适合薄膜的元素表面分析和检查样品的清洁度。

CMapp Auger 软件提供对采集参数的完全控制，然后量化采集后的数据。

应用参考：

室温和100℃环境下利用连续表面反应进行结晶氮化镓薄膜的电子增强生长 - Sprenger，Sun，Cavanagh，Roshko，Blanchard，George，材料化学，U. Colorado – 2016

抑制二次电子噪声的微型柱面镜俄歇电子能量分析仪的设计与仿真 - Jay A. Bieber，南佛罗里达大学 – 2017

在室温和100°C下氮化硼薄膜的电子增强原子层沉积 - Sprenger，Sun，Cavanagh，Roshko，Blanchard，George - J Phys Chem C纳米材料界面。科罗拉多州 – 2018

在W（100）上Ba-Sc-O脱附的实验中俄歇电子能谱与微同步辐射x射线光电子能谱的关联性研究 -孟彩霞，李一凡，吴浩，魏伟，宁艳晓，崔毅，傅强，宝鑫和 - 物理化学 化学 化学 物理 – 2018

利用AIMS诊断功能用于托卡马克磁约束聚变环流器内部的高Z位置的侵蚀测量的一种离子束原位分析方法的开发和测试 - Leigh A. Kesler，麻省理工学院 – 2019

Pt（111)表面的h-BN在氧氛环境内的结构转变- Mroz，Kordesch，Sadowski，Tenney，Eads - 真空科學與技術雜誌，B.Brookhaven國家實驗室 – 2020

SO2在石墨烯上的吸附和反应动力学：超高真空表面科学研究- Stach，Johnson，Stevens，Burghaus - 真空科学与技术杂志，北达科他州 – 2021

电子增强原子层低温沉积钴膜的空心阴极等离子体电子源 - Sobell1，Cavanagh1，Boris，Walton，George - 真空科学与技术杂志，U. Colorado，海军研究实验室 - 2021

microCMA 是一个高度集成、即插即用的AES解决方案，适合需要快速、定量表面元素分析的用户。其小巧的设计使其能够灵活集成到现有真空系统中，降低了AES技术的使用门槛，同时保持了传统CMA的检测性能，

在学术研究与工业质检中均有实用价值。