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自动AI晶圆边缘检测
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自动AI晶圆批量边缘检测
是一款专为150/200mm晶圆设计的自动AI边缘检测设备。它配备Cognex AI相机,能在1分钟内完成批量晶圆的全边缘与禁区检查,准确识别大于1.2mm的缺陷,并通过SECS/GEM实时提供分片结果,明显提升检测效率与可靠性。
leyu·乐鱼(中国)体育官方网站详情

自动AI晶圆边缘检测

批量边缘检查

安装在批次ID阅读器周围的Cognex InSight ViDi D905相机

真正的边缘检查,可选正面和背面禁区检查

前后摄像头可配置为在误处理后检测“CMP环”

1分钟完成边缘检查周期

按插槽号划分的通过/失败结果——SECS/GEM连接

缺陷尺寸>1.2mm

Model

Wafer Size

Description

IDWR-EDGE

150/ 200 mm

Batch Edge Inspection


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