自动AI微晶圆检测

显微镜集成Cognex InSight ViDi D905 AI视觉系统

高精度X/Y电动工作台，负责在显微镜下移动晶圆，实现全视场覆盖扫描。

Cognex ViDi AI软件平台。它利用预先训练的深度学习模型（针对划痕、颗粒、残留物、裂纹等缺陷）对采集的高分辨率图像进行实时分析、分类和定位缺陷。

能够学习复杂的缺陷特征，对弱对比度缺陷和新型缺陷具有极高的检出率和较低的误报率，尤其适用于微米/纳米级缺陷检测。

手动装载系统，配备自定心晶圆装载台，计划采用全自动系统

系统能够生成标准的KLARF文件，该文件包含了所有缺陷的坐标、尺寸、类型、图像快照等信息，可直接导入管理系统或发送给客户。

缺陷尺寸取决于：

显微镜物镜的放大倍数和分辨率。

Cognex D905相机的传感器像素尺寸和视野。

照明系统（如明场、暗场）的能力。