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浏览器自带分享功能也很好用哦~一系列紧凑型、单层结构的自动化晶圆垂直转移设备，专为在晶圆盒以及工艺模块之间安全、高效地批量转移晶圆而设计。可选配高精度平边/凹口对准器，是半导体生产线中实现自动化上下料和晶圆定向的标准解决方案。
垂直批量晶圆传送和平面/凹口对齐
VBT系列机器是一种单级自动垂直晶圆转移工具，具有凹口/平面对齐选项。
边缘的晶圆处理
检测传感器，用于监测传输和对齐过程。
占地面积小。
VBT系列是半导体自动化中高度模块化、功能明确的基础硬件，它为晶圆提供了“垂直电梯+智能方向盘”的功能。
此系列设备是构建 “全自动晶圆检测线” 或任何自动化工艺模块的关键物流节点，可以与宏观检测模块、AI微检测系统结合，
形成从入料、定向、传送到检测、分拣的完整自动化解决方案。
Model | Wafer Size | Description |
VBT150 VBT150A | 150 mm | Vertical Batch Transfer (VBT) VBT with Flat Aligner |
VBT200 VBT200A | 200 mm | Vertical Batch Transfer (VBT) VBT with Notch Aligner |
VBT200Q | 200 mm | VBT for Quartz Boat |
VBT100C VBT150C VBT200C | 100mm/150mm/200mm | Vertical Batch Transfer Open Cassette/Clamshell |
VBT125/150 VBT125/150Q | 125mm/150mm | Vertical Batch Transfer Vertical Batch Transfer for Quartz Boat |
垂直批量晶圆传送和平面/凹口对齐
一系列紧凑型、单层结构的自动化晶圆垂直转移设备，专为在晶圆盒以及工艺模块之间安全、高效地批量转移晶圆而设计。可选配高精度平边/凹口对准器，是半导体生产线中实现自动化上下料和晶圆定向的标准解决方案。
垂直批量晶圆传送和平面/凹口对齐
VBT系列机器是一种单级自动垂直晶圆转移工具，具有凹口/平面对齐选项。
边缘的晶圆处理
检测传感器，用于监测传输和对齐过程。
占地面积小。
VBT系列是半导体自动化中高度模块化、功能明确的基础硬件，它为晶圆提供了“垂直电梯+智能方向盘”的功能。
此系列设备是构建 “全自动晶圆检测线” 或任何自动化工艺模块的关键物流节点，可以与宏观检测模块、AI微检测系统结合，
形成从入料、定向、传送到检测、分拣的完整自动化解决方案。
Model | Wafer Size | Description |
VBT150 VBT150A | 150 mm | Vertical Batch Transfer (VBT) VBT with Flat Aligner |
VBT200 VBT200A | 200 mm | Vertical Batch Transfer (VBT) VBT with Notch Aligner |
VBT200Q | 200 mm | VBT for Quartz Boat |
VBT100C VBT150C VBT200C | 100mm/150mm/200mm | Vertical Batch Transfer Open Cassette/Clamshell |
VBT125/150 VBT125/150Q | 125mm/150mm | Vertical Batch Transfer Vertical Batch Transfer for Quartz Boat |
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