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浏览器自带分享功能也很好用哦~用于在两个晶圆盒（Cassette）之间进行水平方向、整批或单片晶圆转移的设备。提供自动（AWT） 和手动（MWT） 两种操作模式，满足不同自动化程度、洁净度及预算的生产线需求，是实现晶圆盒间分选、合并、翻面或简单搬移的基础工具。
手动/自动批量晶圆转移
AWT/MWT（自动/手动晶圆传送）机器在卡塞之间水平传送晶圆。
安全联锁装置（AWT）
卡塞放置传感器
晶圆传输过程中异常电阻的电机过电流检测
当联锁启动时，晶片传输将停止
MWT有一个自返回的传送臂，因此机器随时可以使用。
反向卡塞装载时可以批量翻转
AWT/MWT 是晶圆厂 “水平物流” 的骨干设备。
它与之前描述的 VBT（垂直物流） 设备形成了完美的操作维度互补：
VBT：负责 “垂直存取”——从盒中取出或将晶圆放回盒中，常与工艺模块或检测站对接。
AWT/MWT：负责 “水平交换”——在不同晶圆盒之间进行整理、分选、合并或翻。
AWT 适用于追求全自动化、高可靠性的在线生产环节。
MWT 则是灵活性、低成本的理想选择，常用于离线作业、实验线或作为备份。
这三类设备（VBT, AWT/MWT, 检测模块）共同构成了一个完整的 “晶圆自动化处理与检测” 解决方案矩阵，可以根据客户的具体工艺流程（来料→ 垂直上料 → 水平分选 → AI检测 → 垂直下料/翻面 → 水平输出）进行
灵活组合与集成。
Model | Wafer Size | Description |
AWT* | 150/ 200 mm | Auto Wafer Transfer |
MWT* | 75 to 200 mm | Manual Wafer Transfer |
手动/自动批量晶圆转移
用于在两个晶圆盒（Cassette）之间进行水平方向、整批或单片晶圆转移的设备。提供自动（AWT） 和手动（MWT） 两种操作模式，满足不同自动化程度、洁净度及预算的生产线需求，是实现晶圆盒间分选、合并、翻面或简单搬移的基础工具。
手动/自动批量晶圆转移
AWT/MWT（自动/手动晶圆传送）机器在卡塞之间水平传送晶圆。
安全联锁装置（AWT）
卡塞放置传感器
晶圆传输过程中异常电阻的电机过电流检测
当联锁启动时，晶片传输将停止
MWT有一个自返回的传送臂，因此机器随时可以使用。
反向卡塞装载时可以批量翻转
AWT/MWT 是晶圆厂 “水平物流” 的骨干设备。
它与之前描述的 VBT（垂直物流） 设备形成了完美的操作维度互补：
VBT：负责 “垂直存取”——从盒中取出或将晶圆放回盒中，常与工艺模块或检测站对接。
AWT/MWT：负责 “水平交换”——在不同晶圆盒之间进行整理、分选、合并或翻。
AWT 适用于追求全自动化、高可靠性的在线生产环节。
MWT 则是灵活性、低成本的理想选择，常用于离线作业、实验线或作为备份。
这三类设备（VBT, AWT/MWT, 检测模块）共同构成了一个完整的 “晶圆自动化处理与检测” 解决方案矩阵，可以根据客户的具体工艺流程（来料→ 垂直上料 → 水平分选 → AI检测 → 垂直下料/翻面 → 水平输出）进行
灵活组合与集成。
Model | Wafer Size | Description |
AWT* | 150/ 200 mm | Auto Wafer Transfer |
MWT* | 75 to 200 mm | Manual Wafer Transfer |
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