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批号阅读器
批次ID阅读器对齐并读取可用150mm或200mm晶圆上的识别标签。
将150mm晶圆与平面晶圆和200mm晶圆与凹口进行批量对齐。
插槽25中晶圆的较优读数。分析时段较低。
通过SECS/GEM主机连接进行PC控制(可选)
触摸屏界面。
典型循环时间:40秒(包括校准和读取每个晶片ID)
这款批号阅读器是一个高度集成(机械手+对准器+视觉读码器+控制器)、深度优化(针对S25读取)且接口标准化的自动化识别单元。
它解决了半导体制造中物料身份确认的自动化问题,是构建透明化、智能化晶圆厂不可或缺的基础设备。
其40秒的循环时间和针对槽位25的优化,体现了在可靠性与效率之间取得的精妙平衡。
Model | Wafer Size | Description |
IDWR150/200-S25 | 150mm/ 200 mm | Lot ID Reader |
批号阅读器
批次ID阅读器对齐并读取可用150mm或200mm晶圆上的识别标签。
将150mm晶圆与平面晶圆和200mm晶圆与凹口进行批量对齐。
插槽25中晶圆的较优读数。分析时段较低。
通过SECS/GEM主机连接进行PC控制(可选)
触摸屏界面。
典型循环时间:40秒(包括校准和读取每个晶片ID)
这款批号阅读器是一个高度集成(机械手+对准器+视觉读码器+控制器)、深度优化(针对S25读取)且接口标准化的自动化识别单元。
它解决了半导体制造中物料身份确认的自动化问题,是构建透明化、智能化晶圆厂不可或缺的基础设备。
其40秒的循环时间和针对槽位25的优化,体现了在可靠性与效率之间取得的精妙平衡。
Model | Wafer Size | Description |
IDWR150/200-S25 | 150mm/ 200 mm | Lot ID Reader |
