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批号阅读器
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批次ID阅读器对齐并读取可用150mm或200mm晶圆上的识别标签。
一款自动化工作站,用于快速、可靠地读取晶圆盒(Cassette)中首片可用晶圆上的识别码(ID),并可根据需要对该晶圆进行平边/凹口对准。其主要目的是在晶圆进入生产线或存储系统时,自动获取批次(Lot)和晶圆(Wafer)的身份信息,是实现全流程追溯和自动化调度的关键初始步骤。
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批号阅读器

批次ID阅读器对齐并读取可用150mm200mm晶圆上的识别标签。

150mm晶圆与平面晶圆和200mm晶圆与凹口进行批量对齐。

插槽25中晶圆的较优读数。分析时段较低。

通过SECS/GEM主机连接进行PC控制(可选)

触摸屏界面。

典型循环时间:40秒(包括校准和读取每个晶片ID

这款批号阅读器是一个高度集成(机械手+对准器+视觉读码器+控制器)、深度优化(针对S25读取)且接口标准化的自动化识别单元。

它解决了半导体制造中物料身份确认的自动化问题,是构建透明化、智能化晶圆厂不可或缺的基础设备。

其40秒的循环时间和针对槽位25的优化,体现了在可靠性与效率之间取得的精妙平衡。

 

Model

Wafer Size

Description

IDWR150/200-S25

150mm/

200 mm

Lot ID Reader


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批次ID阅读器对齐并读取可用150mm200mm晶圆上的识别标签。

150mm晶圆与平面晶圆和200mm晶圆与凹口进行批量对齐。

插槽25中晶圆的较优读数。分析时段较低。

通过SECS/GEM主机连接进行PC控制(可选)

触摸屏界面。

典型循环时间:40秒(包括校准和读取每个晶片ID

这款批号阅读器是一个高度集成(机械手+对准器+视觉读码器+控制器)、深度优化(针对S25读取)且接口标准化的自动化识别单元。

它解决了半导体制造中物料身份确认的自动化问题,是构建透明化、智能化晶圆厂不可或缺的基础设备。

其40秒的循环时间和针对槽位25的优化,体现了在可靠性与效率之间取得的精妙平衡。

 

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IDWR150/200-S25

150mm/

200 mm

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