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手动/自动平面和凹口对准器/升降机
NFE200和FFE150是一种单台工具,用于对齐晶圆并将其提升以进行检查。
使用2个无真空支架从载体上抬起
照明单元(红色或白色LED)照亮晶片进行检查或激光标记验证。
NFE200与各种衬底材料兼容,包括碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)
NFE200 和 FFE150 并非全自动的传送或读码设备,而是专注于解决 “安全举升、精确定向、优化观察” 这一特定需求的精密辅助工具。
其非真空抬升设计和对化合物半导体的兼容性是其优异的科技亮点,直接应对了先进材料制造中的痛点。
它们填补了全自动处理系统与纯粹手动操作之间的空白,在保障晶圆安全的前提下,明显提升了人工检查与验证环节的专业性、便捷性和可靠性。
Model | Wafer Size | Description |
NFE200 | 200 mm | Notch Finder and Elevator |
FFE150 | 150 mm | Flat Finder and Elevator |
手动/自动平面和凹口对准器/升降机
NFE200和FFE150是一种单台工具,用于对齐晶圆并将其提升以进行检查。
使用2个无真空支架从载体上抬起
照明单元(红色或白色LED)照亮晶片进行检查或激光标记验证。
NFE200与各种衬底材料兼容,包括碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)
NFE200 和 FFE150 并非全自动的传送或读码设备,而是专注于解决 “安全举升、精确定向、优化观察” 这一特定需求的精密辅助工具。
其非真空抬升设计和对化合物半导体的兼容性是其优异的科技亮点,直接应对了先进材料制造中的痛点。
它们填补了全自动处理系统与纯粹手动操作之间的空白,在保障晶圆安全的前提下,明显提升了人工检查与验证环节的专业性、便捷性和可靠性。
Model | Wafer Size | Description |
NFE200 | 200 mm | Notch Finder and Elevator |
FFE150 | 150 mm | Flat Finder and Elevator |
