MINILAB

小型实验室配有旋涂机、热板、去离子水系统和工艺槽。该设备能有效地对大学和研究中心的4英寸样品进行光刻。

内置排气、排水槽和规范管路，能统一处理有机溶剂废气与废液，保障操作安全，符合实验室安全标准。

•组成：旋涂机（Spin-1200T）、热板、D.I水系统

•排水管

•排水槽

•排气

•氮气吹扫

•Deionized Water Spray Gun

•尺寸：1300（宽）*750（深）*1800（高）

MINILAB通过精心设计，将微纳工艺入门阶段较杂乱、较耗时的设备搭建与安全管理问题打包解决，让用户能够立即专注于工艺本身的学习与探索。对于旨在建立或升级本科教学实验室、或需要一个标准化的基础研发

平台的机构而言，这是一个高效、可靠且性价比较高的选择。