匀胶机有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是

一样的，既在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺, 可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。匀胶机可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蚀中也被使用。

由我司提供的匀胶机,在高校、研究所及半导体产业享有很高的声誉,相信能满足您多种不同应用要求。

产地：韩国MIDAS公司，

型号：SPIN-3000A

厂家链接：http://www.midas-china.com.cn/

SPIN-3000A

触摸屏控制，各种涂料溶液的紧凑单元，可编程配方管理，操作简单，采用排液，排液孔在碗中

•匀胶机

•基板尺寸： -上限尺寸8英寸

•转速：300~7000 rpm（空载时），误差小于3%

•菜单程序：50步，50个配方

•卡盘材料：阳极氧化铝、缩醛

•碗尺寸：12英寸

•碗材料：不锈钢

•重量（kg）30

•尺寸（mm）390（宽）*570（深）*400（高）

SPIN-3000A是一款设计成熟、性能可靠的主力型匀胶设备。它特别适合大学重点实验室、研究所中试线，以及从事8英寸特种工艺开发的半导体或光电子企业。对于需要在8英寸平台上进行高重复性、高质量薄膜涂覆

的用户而言，这是一款值得信赖的高性价比选择。