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纳米级离子注入系统
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Q-One是优异的确定性单离子注入平台,是纳米尺度离子束技术的前沿。它超越了传统的统计性离子注入方法,能够以纳米级精度,确定性地将单个离子植入到目标材料的指定位置。该平台集成了高精度聚焦离子束、电子束成像、质量过滤等前沿技术,是面向量子科技、纳米材料、光电子等下一代颠覆性技术研发与制造的主要装备。
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Q-One型, 先进的纳米级离子注入平台,具有纳米级精度的确定性单离子注入的新工具。这是一种全新的设计,功能强大的FIB,能够以惊人的精度和前所未有的速度定位单个离子。与依赖扫描探针显微镜(SPM)的原

子操纵技术相比,Q-One的植入速度快数个数量级,可以在几秒钟内完成包含数百万个精确定位离子的阵列制造,实现了从实验室演示到实用化器件制造的关键跨越。可应用于单离子注入,量子器件制造与研究,纳米材料

工程,光子系统,存储设备等领域。

Q-One具有许多强大的功能,是制造量子器件和先进材料工程的先进系统。快速、可扩展的设备制造Q-OneSPM扫描探针显微镜)技术快许多数量级,它可以在短短几秒钟内产生数百万个精确定位的原子阵列。 

纳米精度,Q-One具有20纳米聚焦离子束和1纳米光学编码器的压电驱动级,提供了精确离子放置。

植入多种元素,液态金属离子源和质量过滤柱可选择和植入40多种不同元素。双等离子体源也可用于氧和氮掺杂。

双离子束,高分辨率电子柱可提供高达4nm的详细成像,用于现场验证和过程控制。

应用领域:

  • 量子信息技术:量子计算:精确制造基于掺杂原子的固态量子比特阵列(如硅基磷原子量子比特);量子通信:制造确定性单光子源(如基于金刚石氮-空位色心)。

  • 先进材料科学:纳米材料工程:以原子精度设计新型二维材料、拓扑材料的电子与光学特性;缺陷工程:在半导体中精确引入特定缺陷,以调控其光电、磁学性质。

  • 新一代光电子与存储器件:集成光子系统:在光子芯片中精确掺杂,制造波导、调制器或单光子探测器;超高密度存储:探索基于单个原子或缺陷状态的存储概念,向原子级存储迈进。

 

成功案例:

单离子多物种低能定位项目,作为单离子多物种低能定位项目的一部分, 2018年在英国 Surrey Ion Beam Centre安装了两台同类仪器。Q-One系统成为英国Henry Royce研究所,纳米先进材料工程新平台的主要设备。

Q-One不只是一台离子注入机,它是一个原子级的“物质3D打印机”和量子器件的构建平台。它将离子注入技术从传统的、统计性的材料改性层面,提升到了确定性、位点可控的原子级制造层面。对于致力于在量子科技、

纳米科学和下一代半导体领域取得突破的研究机构与前沿企业而言,Q-One提供了将前沿理论构想转化为实际功能器件的制造能力,是占领未来技术制高点的战略性装备。



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子操纵技术相比,Q-One的植入速度快数个数量级,可以在几秒钟内完成包含数百万个精确定位离子的阵列制造,实现了从实验室演示到实用化器件制造的关键跨越。可应用于单离子注入,量子器件制造与研究,纳米材料

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Q-One具有许多强大的功能,是制造量子器件和先进材料工程的先进系统。快速、可扩展的设备制造Q-OneSPM扫描探针显微镜)技术快许多数量级,它可以在短短几秒钟内产生数百万个精确定位的原子阵列。 

纳米精度,Q-One具有20纳米聚焦离子束和1纳米光学编码器的压电驱动级,提供了精确离子放置。

植入多种元素,液态金属离子源和质量过滤柱可选择和植入40多种不同元素。双等离子体源也可用于氧和氮掺杂。

双离子束,高分辨率电子柱可提供高达4nm的详细成像,用于现场验证和过程控制。

应用领域:

  • 量子信息技术:量子计算:精确制造基于掺杂原子的固态量子比特阵列(如硅基磷原子量子比特);量子通信:制造确定性单光子源(如基于金刚石氮-空位色心)。

  • 先进材料科学:纳米材料工程:以原子精度设计新型二维材料、拓扑材料的电子与光学特性;缺陷工程:在半导体中精确引入特定缺陷,以调控其光电、磁学性质。

  • 新一代光电子与存储器件:集成光子系统:在光子芯片中精确掺杂,制造波导、调制器或单光子探测器;超高密度存储:探索基于单个原子或缺陷状态的存储概念,向原子级存储迈进。

 

成功案例:

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Q-One不只是一台离子注入机,它是一个原子级的“物质3D打印机”和量子器件的构建平台。它将离子注入技术从传统的、统计性的材料改性层面,提升到了确定性、位点可控的原子级制造层面。对于致力于在量子科技、

纳米科学和下一代半导体领域取得突破的研究机构与前沿企业而言,Q-One提供了将前沿理论构想转化为实际功能器件的制造能力,是占领未来技术制高点的战略性装备。



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