匀胶机有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都

是一样的，既在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。匀胶机适用于半导体、硅片、晶

片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺, 可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。匀胶机可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蚀中也被使用。由我司提供的匀胶机,在高校、研

究所及半导体产业享有很高的声誉,相信能满足您多种不同应用要求。

产地：韩国MIDAS公司，

型号：SPIN-4000A

厂家链接：http://www.midas-china.com.cn/

SPIN-4000A

触摸屏控制，可编程配方管理，操作简单，采用排液、排液孔、分液器

•匀胶机

•基板尺寸：6~12英寸

•转速：300~5000 rpm（空载时），误差小于3%

•菜单程序：20步，20个配方

•卡盘材料：阳极氧化铝、缩醛

•碗尺寸：18英寸

•碗材料：不锈钢

•自动注射功能：选配

适合应用于新型光刻胶测试、MEMS器件制造、先进封装、微流控芯片制作、光子器件研发等领域。对于追求工艺可控性、数据可追溯性的用户，是一款非常可靠的工具。

该设备凭借其韩国原厂的制造品质、在高校、研究所及产业界已建立的良好声誉，定位为一款中高级的通用型科研与工业用匀胶机。其竞争力体现在稳定性、易用性和出色的性价比上，非常适合需要高重复性实

验、多工艺项目并行的先进实验室、研发中心及小规模生产线。