紫外光强计

MIDAS紫外光强计计适用于光刻机光强度功率测量。它是新一代紫外光强计。

规格：

波长：365nm（可选：405nm/248nm）

均匀性：自动计算

测点：5~9点

电池：充电型

尺寸（mm）：80×150×45（宽×深×高）

光刻胶的曝光量（= 光强 × 时间）是决定图形转移成败的关键参数。使用此设备定期测量，可确保曝光强度稳定，从而保证光刻线宽的一致性和工艺的重复性。通过多点扫描，能自动计算出曝光区域内的光强均匀性（通

常以百分比表示，如±3%），这比手动计算效率高得多，且减少了人为误差。标准365nm波长完全匹配MIDAS光刻机常用的i-line汞灯或UV-LED光源。提供248nm深紫外选项是一个专业配置，可用于校准更专业的深紫外

光刻系统或进行特殊材料的曝光研究。它与MIDAS光刻机的匹配度和数据可靠性通常较好。内置充电电池的设计使其无需外接电源，方便在实验室或产线不同设备间移动使用。

MIDAS紫外光强计是一款专业化、便携式的工艺监测仪器。对于使用MIDAS光刻机的用户而言，它是进行设备日常维护、工艺调试和稳定性监控的必备工具。